檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "系統".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="林原慶"
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本文主要研究發展一個CMP問題與決策的知識推論系統,用於八吋矽晶圓拋光、層間絕緣層、IC製程平坦化、金屬層和DRAM的拋光製程。系統採用本體論架構建構出相關的知識領域,再轉換成有用的工程資料庫,此資…
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本研究之目的在於改良材料與製造推論引擎,使系統可接收由CAD軟體擷取出之幾何特徵資料,並以PHP和MySQL做為開發工具建構網頁平台、應用灰色決策和熵權重法進行選用材料的優劣排序。本系統內各種工程知…